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    半導體行業解決方案之蝕刻液分析

    更新時間:2024-07-09      點擊次數:1120

    蝕刻液半導體制造流程中重要的化學品之一,其配方的成分含量和純度,對器件的性能具有關鍵影響。ICP、IR、LC、MS均是常用的分析手段,沃特世專注液相色譜分離(LC)和質譜(MS)檢測的分析平臺研發,無論是提升日常分析的簡易性,還是借助多一維分子量信息進行快速監控,均有對應的色譜質譜技術助力原料放行、配方研發、質控和問題溯源。

    半導體行業解決方案之蝕刻液分析


    UPLC - QDa液相色譜質譜檢測器


    蝕刻液中的離子殘留,在液相色譜分析中非常容易帶來基線的波動和結果的偏差。在PEG組分分析中,質譜檢測器(QDa)多一維質荷比的優勢,可以助力更好地采集特定離子的譜圖信息,降低背景基線干擾,日常質控方法更穩定。





    色譜條件
    • 流動相A:0.1%甲酸水

    • 流動相B:甲醇

    • 流速:0.5 mL/min

    • 梯度條件:

      %A 0.00 90.0 10.0

      %B 5.00 90.0 10.0


    • 進樣量:10 μL


    質譜條件
    • SIR采集:m/z 459.3聚乙二醇400

    • 電離模式:ESI(+)

    • 采樣率:10 點/秒

    • 毛細管電壓:1.5 kV

    • 錐孔電壓:30 V

    • 源內溫度:300 ℃


    半導體行業解決方案之蝕刻液分析

    半導體行業解決方案之蝕刻液分析


    圖1.PEG400 SIR采集色譜圖和質譜圖(m/z459.36)。



    ASAP大氣壓固體分析探桿


    在原料放行和過程分析中,需要把控品質和快速判斷批次穩定性,但由于蝕刻液樣品中的酸、金屬鹽等組分,在色譜分離前需要較為復雜的前處理步驟。而借助質譜的直接進樣探桿,無需或只需很少的樣品前處理,一次性玻璃毛細管蘸取樣品插入質譜中進行表征。

    該技術Waters SQD2、Xevo家族串聯四極桿、四極桿串聯飛行時間質譜平臺上均可輕松配置,擴展多樣化進樣分析能力,固體、液體、半固體均可實現質譜直接分析


    半導體行業解決方案之蝕刻液分析

    圖2.ASAP操作流程(蘸取樣品 - 插入質譜 - 自動觸發采集)。


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    圖3.利用ASAP快速表征PEG成分(不同供應商比較)。



    沃特世質譜平臺化的設計理念,讓多種類樣本分析能力大大提升,輕松應對半導體生產中涉及的各種材料。如您有興趣了解完整解決方案,





    沃特世半導體行業解決方案,涵蓋光刻流程中所應用到的化學品分析,從液相色譜分離到高靈敏度質譜表征以及高分辨未知成分定性,提供快速的色譜質譜解決方案。從小分子到大分子,從日常質控、過程放行、到配方剖析,涉及光刻膠、蝕刻液、電鍍液、研磨液等多種材料分析需求。

    半導體行業解決方案之蝕刻液分析

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